佳能发布FPD曝光设备MPAsp-H1003T，实现2.0μm解析度对65英寸液晶面板的一次曝光

作者:  来源:中国电子商情

发布时间:2018-10-11

佳能将于2018年10月下旬起正式发售FPD（Flat Panel Display）曝光设备新品，型号为“MPAsp-H1003T”。该产品针对第8代玻璃基板尺寸※1研发，实现了运用2.0μm（L/S※2）的解析度对65英寸液晶面板进行一次曝光的技术。

随着平板电视的普及，今后的电视市场需求方向，将向以65英寸为主的大尺寸、搭载4K和8K技术的高精细化、以及以有机EL面板为代表的获得Ultra HD Premium※3认证的高品质电视方向发展。新产品针对在电视机等液晶平板制造业中被广泛使用的第8代玻璃基板所设计，使高品质65英寸液晶面板的能够实现量产。

实现运用2.0μm解析度对65英寸液晶面板的一次曝光
佳能的FPD曝光设备采用了搭载“Mirror Projection”一次曝光技术的镜面光学系统，通过大范围曝光，实现了大型液晶面板的量产。通过新开发的镜面光学系统与独特的加工技术，新产品保持了与原机型“MPAsp-H803T”（2013年6月发售）相同的2.0μm（L/S）的解析度，并将一次曝光的范围从最大58英寸进一步提升到了65英寸。因此，相比于旧机型，新产品对65英寸液晶面板的曝光单位时间缩短了约37%※4。

套刻精度的提升
随着加工工艺的高精细化，套刻精度也变得愈加重要。影响套刻精度的最大因素就是加工工艺中的非线性成分（即形变成分），通过倍率补正技术对非线性成分的有效应对，并与多点同时校正系统配合，新机型的套刻精度相比以往机型提高了10%。

双曝光线布局进一步提升MMG生产效率
通过对一台的涂布显影设备※5连接两台的FPD曝光设备的双曝光线布局，提升了可在玻璃基板上配置不同尺寸液晶面板的MMG※6技术的生产效率。新产品还可以与旧机型“MPAsp-H803T”配合，能使其在不影响现有第8代生产线产能的前提下实现搭配量产。